真空等離子表面處理機(jī)（等離子清洗機(jī)）是等離子清洗機(jī)的一種類型，設(shè)備處理過程需要真空環(huán)境，所以被處理產(chǎn)品需要放入封閉處理環(huán)境中，并通過真空泵抽離內(nèi)部氣體，放入工藝氣體，維持低壓真空的狀態(tài)，進(jìn)行等離子輝光放應(yīng)，處理產(chǎn)品，解決表面難題。
真空等離子表面處理機(jī)作用：
1、表面清潔：利用等離子體技術(shù)可以清除物體表面的污染物、氧化層、有機(jī)污染物等，使其表面變得干凈，從而提高表面質(zhì)量。
2、表面改性：等離子體可以在物體表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，改變表面物質(zhì)的化學(xué)性質(zhì)，從而改善其性能，如提高耐腐蝕性、粘接力、親水性、耐磨性等。

3、表面涂層：利用等離子體技術(shù)可以在物體表面形成一層新的材料涂層，從而提高表面的耐磨性、耐腐蝕性、導(dǎo)電性等。
4、表面刻蝕：利用等離子體技術(shù)與物體進(jìn)行反應(yīng)，生產(chǎn)揮發(fā)性物質(zhì)，讓表面形成紋路、圖案等。
真空等離子表面處理機(jī)的應(yīng)用非常廣泛，設(shè)計(jì)電子信息、半導(dǎo)體制造、醫(yī)療器械、汽車制造等等行業(yè)中，是出色的表面處理解決方案。