德國(guó)原裝進(jìn)口Alpha Plasma微波等離子系列 AL18
日期：2021-11-12 14:22:41
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機(jī)臺(tái)名稱：微波等離子清洗機(jī)（德國(guó)原裝進(jìn)口）
機(jī)臺(tái)型號(hào)：Alpha Plasma AL18
腔室容積：18升
整機(jī)尺寸：530mm (W)×600mm (D ) ×550mm (H)
腔室尺寸：250mm (W)×290mm (D ) ×250mm (H)
腔門： 鉸鏈?zhǔn)角婚T，帶觀察窗
微波源：2.45GHZ,50-600W可調(diào)
氣路：標(biāo)配兩路工藝氣體，MFC質(zhì)量流量計(jì)
真空規(guī)：Pirani,1-1000Pa
真空系統(tǒng)：DN 25 ISO-KF
真空泵：干泵，XDS35i BOC Edwards
真空閥：電動(dòng)氣動(dòng)閥
控制系統(tǒng)：7寸觸摸屏、Windows,RS232,USB,圖形化操作屆面
選配件：增加氣路、樣品臺(tái)、升級(jí)14寸觸摸屏等
電力：3/N/PE AC 50Hz 400/240V 16A
重量：40KG(不含泵）；約100KG(含泵）
特點(diǎn)：無(wú)殘留成分，清洗干凈徹底，無(wú)需干燥處理，低溫操作，對(duì)樣品無(wú)損傷，全自動(dòng)運(yùn)行。
用途：適用于普通光刻膠及SU8厚膠去除，MEMS中犧牲層去除，清除浮渣工藝，鍵合封裝前樣片清潔。
